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SEMICON China 是中國的半導體旗艦展覽，每年吸引高數量和高質量的觀眾到場參觀，為大家提供了解產品、技術和解決方案的專業平臺。

2019 年，飛納電鏡將攜臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX，在 SEMICON China 2019 為大家帶來掃描電鏡在半導體領域的應用。

時間：2019 年 3 月 20 日 - 22 日
地點：上海新博覽中心
飛納電鏡展位號：N5 館 5619

飛納臺式掃描電鏡在半導體行業的應用

光鏡 + 電鏡導航界面 —— 快速尋找 Bonding 位置

飛納電鏡彩色光學導航窗口 + 低倍 SEM 導航窗口 + 自動馬達臺，幫助用戶一鍵找到感興趣位置，丟失視野。

優中心樣品杯 —— 多角度檢測 Bonding 質量

飛納電鏡優中心 (Eucentric) 樣品杯

飛納臺式掃描電鏡大樣品室版 Phenom XL 的優中心樣品杯可以通過傾斜、旋轉樣品，使用戶得到更豐富的形貌特征，輕松、安全地從各個角度觀察樣品：

· 自動保護系統，用戶無需擔憂碰撞探頭
· 腔室 3D 動態顯示，實時模擬顯示樣品與探頭的位置關系
· 優中心樣品轉動，丟失視野

飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX

在半導體領域中，掃描電鏡可以用來分析材料成型機理，器件失效分析，工業工藝控制等問題，對研究和生產有著至關重要的作用。

飛納電鏡的高性能、高穩定性、操作簡單等特性，在半導體領域得到了廣泛的應用。

第五代飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX 是集成化成像分析系統，分辨率提升 20%，進一步增加應用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品。