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在2018 年之前，為何沒有看到使用肖特基場發射電子源（FEG）的臺式掃描電子顯微鏡（SEM）呢？為何在臺式掃描電鏡（SEM）中使用場發射電子源（FEG）是十分的呢?

當臺式掃描電鏡遇見場發射電子源

臺式掃描電鏡（SEM）是一個相對年輕且發展迅速的產品。其實許多應用領域并不需要使用低于1 nm 的超高分辨率掃描電鏡（SEM），10 nm 的分辨率是綽綽有余的。然而，由于材料特征點尺寸越來越小和觀測需求的增加，臺式掃描電鏡（SEM）用戶有時希望設備能夠具有更好的分辨率，并且保持測樣效率不變、操作依然簡便。

飛納臺式場發射掃描電鏡的誕生

在設計新的掃描電鏡（SEM）時會出現諸多挑戰。通常，為了獲得更好的性能，新設備的規格需要更高的要求。另一個挑戰是新系統的出現，不會影響到飛納臺式掃描電鏡（SEM）的操作簡便性。可以讓沒有掃描電鏡（SEM）操作經驗的實驗室管理員能夠在短時間內熟練操作電鏡。那么，當飛納電鏡從CeB6電子源升級到FEG 電子源時，將面臨的挑戰是什么？

首先，需要分析掃描電鏡（SEM）電子源之間的差異。